NOS COMPÉTENCES

Les activités de recherche en microélectronique sont centrées sur les matériaux et composants de la micro et la nanoélectronique :

• Interdiffusion réactive Ni-Si dans les contacts électriques (influence du Pt)
• Distribution spatiale des dopants implantés dans le silicium  (wafers, nanofils…)
• Nano-analyse/scopie 3D de nanotransistors par tomographie
• Fiabilité de transistors Si/SiGe soumis à des contraintes électromagnétiques : lien entre la dégradation des performances et la physique associée.